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仓储自动化

设备性能说明仓储自动化方案自带 WMS 管理系统,可与 MES、ERP 无缝对接;储料方式支持系统指令、扫码、人工等模式,适用于材料、备件、尾数等临时存储管理;

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FOUP/FOSB 晶圆盒真空封包机

卓仓芯微 FOUP/FOSB 晶圆盒真空封包机,适配标准半导体晶圆传输盒与存储盒真空封包工序,具备高洁净度真空密封、防潮防氧化、防微粒污染特性,保障晶圆在存储、运输及制程周转中的品质安全,适配晶圆厂自动化产线包装需求。

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自动包装线

设备性能说明自动包装线集标签打印粘贴校对、加盖印章、装载干燥剂和湿度卡、真空封合包装袋、自动上下料功能于一体,适配 Reel、Tube、Tray 产品。检测能力

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