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半导体
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IGBT外观检测设备

卓仓芯微 IGBT 外观检测设备搭载 AOI 视觉检测技术,可精准识别 IGBT 功率器件表面划痕、脏污、引脚形变、封装缺损等外观缺陷,适配 IGBT 封装量产线全检工序,具备高检出率与高稳定性,助力功率半导体产线高效品质管控。

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IC芯片外观检测设备

卓仓芯微 IC 芯片外观检测设备搭载 AOI 视觉检测技术,可精准识别 IC 芯片表面划痕、崩边、封装缺损、引脚形变、丝印异常等外观缺陷,适配多规格 IC 芯片封装量产全检工序,具备高检出率与高稳定性,助力半导体产线高效品质管控。

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晶圆测厚仪

卓仓芯微晶圆测厚仪为半导体产线提供高精度晶圆厚度量测方案,支持多种规格晶圆检测,可精准测量晶圆整体厚度、膜层厚度参数,具备高稳定性、高重复精度,适配晶圆制造、封装测试全流程的量测质控需求。

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ICReel自动包装设备

应用于半导体封装测试产业,可依客户需求将7"或13"ICReel贴上标签后,将干燥剂、湿度卡一同置入平口抗静电铝袋内进行真空密封,亦可另外搭配纸盒成形模组。可节省人力成本、减少工安、提升ICReel卷带包装 品质并确保其包装之气密性,符合智能产线智动化之需求。

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IC-tray盘自动包装机

应用于半导体封装测试产业,在IC出货至客户端前进行ICTray盘自动包装作业,达到节省人力及包装过程监控管制,可保障客户产品品质。本设备用于将Tray自动拆除魔术带、移除ID卡,并放上标签卡后,依据设定打上束带,将干燥剂及湿度卡置入抗静电袋内进行真空密封。

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FOUP/FOSB 晶圆盒自动拆包设备

卓仓芯微 FOUP/FOSB 晶圆盒自动拆包设备,适配标准半导体晶圆传输盒与存储盒自动化拆包工序,在高洁净环境下完成自动拆封、出料流转,有效避免人工操作带来的微粒污染,大幅提升拆包效率,适配晶圆制造、封装测试产线自动化需求。

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仓储自动化

设备性能说明仓储自动化方案自带 WMS 管理系统,可与 MES、ERP 无缝对接;储料方式支持系统指令、扫码、人工等模式,适用于材料、备件、尾数等临时存储管理;

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FOUP/FOSB 晶圆盒真空封包机

卓仓芯微 FOUP/FOSB 晶圆盒真空封包机,适配标准半导体晶圆传输盒与存储盒真空封包工序,具备高洁净度真空密封、防潮防氧化、防微粒污染特性,保障晶圆在存储、运输及制程周转中的品质安全,适配晶圆厂自动化产线包装需求。

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自动包装线

设备性能说明自动包装线集标签打印粘贴校对、加盖印章、装载干燥剂和湿度卡、真空封合包装袋、自动上下料功能于一体,适配 Reel、Tube、Tray 产品。检测能力

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