设备特性

●可客制单层或双层拆包。

●Bar Code / RFID 帐料比对。

●干燥包可回收,the desiccant can be recycled。

●换料不停机,non-stop for refueling (bag/knife)。

●流程纪录可追溯，process records can be traced。

●可串OHT & AGV, OHT & AGV can be connected in series。

●可串接OHT & AGV, OHT & AGV can be connected in series 

●可串分离机, separators that can be connected in series。

●可对接天车MCS系统

●可适配Class100/Class10 洁净车间

●可对接天车MCS系统

●MBTF>2000H，MTTR≤ 2 hrs 

●UPH：

    单层包装：>45pcs

    双层包装：>35pcs

●可装配RFID

产品应用 

半导体晶圆制造、封装及测试产业。

重点规格

● UPH ≥40
●MCBI≥2000
●对应的晶圆盒Wafer Carrier种类Types: FOUP/ FOSB (12"), Reel/Jedec Tray /HWS/ POD (8")

●对应的晶圆包装袋种类:铝袋aluminum bags，抗静电袋antistatic bags，透明袋transparent bags

案例视频