Product
产品中心
设备概述
● 全自动晶圆测厚仪具备高精度、高性能、高稳定性、高扩展性、高易用性、全
自动测量等特点。
● 若选配高精度视觉系统，还可被用于测量平面几何形位公差，包括但不限于:
点、线、圆、弧、曲线、角度、距离、平面、位置度、对称度、同心度、平行
度、平面度等。
产品应用
晶圆测厚
案例视频
关键性能指标
| 产品名称与型号 | 晶圆测厚仪 | |
| 三轴行程 | X*Y*Z(mm)（影像） | 250*350*100（可定制） |
| X*Y*Z(mm)（点激光） | 350*350*100（可定制） | |
| 测量精度* | EUX/EUY, MPE（μm） | 3.0+L/200 |
| EUXY, MPE（μm） | 3.0+L/200 | |
| EUZ, MPE（μm） | 3.0+L/200（搭配点激光） | |
| X/Y轴直线度 | ≤3 μm | |
| X/Y轴垂直度 | ≤4 μm | |
| XY位移平面度 | ≤5 μm | |
| *L 表示测量长度，以 mm 为单位 | ||
| 运动性能 | X/Y轴速度(mm/s) | 200 |
| Z轴(mm/s) | 150 | |
| 图像传感系统 | 相机类型 | 2/3” CMOS 千兆以太网工业面阵相机 |
| 像素等级 | 500万 | |
| 靶面尺寸 | 2/3” | |
| 分辨率 | 2448 × 2048 | |
| 传感器 | Sony IMX264 | |
| 最大刷新帧率(FPS) | 60 | |
| 光学系统 | 镜头类型 | 高精度变倍镜头 |
| 变倍方式 | 连续自动变倍 | |
| 光学放大倍率* | 0.7X-4.5X | |
| 影像放大倍率* | 18X-230X | |
| 镜头工作距离 | 91±2mm | |
| *影像放大倍率为近似值，具体值与显示器尺寸、屏幕显示分辨率相关 | ||
| 照明系统 | 环形表面光 | LED 冷光源，256 可调亮度等级，程控调节 |
| 透射轮廓底光 | LED 冷光源，256 可调亮度等级，程控调节 | |
| 同轴光 | LED 冷光源，256 可调亮度等级，程控调节 | |
| 计数系统 | 高精度光栅尺 | 0.1 μm 分辨率 |
| 高精度光谱共焦位移传感器 | 工作距离 | 16mm（可定制） |
| 有效量程 | ±0.6mm | |
| 线性精度 | 0.24 μm | |
| 光斑大小 | 9 μm | |
| 角度特性 | ±29° | |
| 最大采样频率 | 10kHz | |
| 测量模式 | 1. 位移模式：平面度、翘曲度、高度差等 | |
| 2. 厚度模式：直接穿透透明材料，提取厚度信息 | ||
| 3. 对射模式：双激光测头，对射提取厚度信息 | ||
| 运动操纵杆 | 高性能版 | 1. LED 液晶显示屏，实时显示关键状态信息 |
| 2. 一键急停按钮，保障机台操作安全 | ||
| 3. 速度调节旋钮，灵活控制机台运动 | ||
| 专业工控机 | 高性能版 | 核心配置： Intel i7 CPU/16GB 内存/1024GB 固态硬盘/27 寸液晶显示器/键鼠套装/Windows 10 操作系统/电脑桌 |
| 工作台承重 | (kg) | 5 |
| 整机净重 | (kg) | 900 |
| 外形尺寸 | 长×宽×高(mm) | 1430×740×1550 |
| 电源供应 | 电压 | 200~240VAC，50/60Hz |
| 功耗 | ≥1500W | |
| 接地 | 强制要求，接地电阻≤4Ω | |
| 环境要求 | 温度 | 20±2℃ |
| 温度梯度 | 0.5℃/h，2℃/24h | |
| 相对湿度 | 30%~80% | |
| 振动等级 | 振动＜0.002g，低于15Hz | |